一、電控柜的操作

第一步是打開(kāi)水泵和氣源，然后開(kāi)總電源，接下來(lái)就是開(kāi)維持泵和真空計電源，等真空計檔位置V1的時(shí)候，等其他值小于10之后（約需5分鐘）就可以開(kāi)機械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源啟動(dòng)，把真空計開(kāi)關(guān)換到V2的位置抽到小于2（約需20分鐘）之后再渦輪分子泵的讀數達到250以后把予抽關(guān)了，開(kāi)前機和高閥繼續工作，抽真空達到到一定程度之后把右邊的高真空表頭打開(kāi)，達到2×10-3之后打開(kāi)電子槍電源。

二、關(guān)機順序

先把高真空表頭關(guān)了再把分子泵關(guān)了等分子泵顯示50時(shí)再依次關(guān)高閥、前級、機械泵（期間約需40分鐘）等到50以下的時(shí)候把維持泵關(guān)了就可以了。

正確的使用真空鍍膜設備可以延長(cháng)真空鍍膜設備的壽命。#真空鍍膜設備#