真空計如何分類(lèi)(真空計的作用)
文章出處:華仁儀表 發(fā)表時(shí)間:2021-09-27 10:27
真空計(Vacuum Gauge),又稱(chēng)規,是測量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類(lèi),分別是利用力學(xué)性能,利用氣體動(dòng)力學(xué)和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體力學(xué)效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和電熱偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
1、波爾登規(Bourdon)
2、薄膜電容規
3、皮拉尼規
4、熱電偶規
5、熱陰極電離規
6、冷陰極電離規
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